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半導體制造壓縮空氣質量標準是多少

2023-05-15閱讀量:

  國際上主要采用的半導體空壓系統標準包括以下幾個:

  ISO 8573-1-2010:這是由國際標準化組織(ISO)發布的一份標準,規定了空氣質量的各個等級,以及檢測方法和限制值等。

  GB/T 2819-2011:這是中國國家標準化管理委員會發布的一份標準,規定了壓縮空氣、氮氣和惰性氣體的品質指標、檢測方法和限制值等。

  SEMI S2-0715:這是美國半導體設備與材料國際協會(SEMI)發布的一項標準,要求半導體設備必須符合人身安全、環境保護和設備性能等方面的規定。

  SEMI S6-0715:這也是SEMI發布的一項標準,要求半導體設備必須符合電氣安全、機械安全和防火防爆等方面的規定。

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