半導體空壓系統是在半導體生產和研發過程中使用的重要設備之一，其能夠為半導體制造過程提供高質量、穩定的氣體供應。目前，國際上主要采用的半導體空壓系統標準包括以下幾個：

　　1.SEMI S2-0715：這是美國半導體設備與材料國際協會(SEMI)發布的一項標準，要求半導體設備必須符合人身安全、環境保護和設備性能等方面的規定。

　　2.SEMI S6-0715：這也是SEMI發布的一項標準，要求半導體設備必須符合電氣安全、機械安全和防火防爆等方面的規定。

　　3.ISO 8573-1-2010：這是由國際標準化組織(ISO)發布的一份標準，規定了空氣質量的各個等級，以及檢測方法和限制值等。

　　4.GB/T 2819-2011：這是中國國家標準化管理委員會發布的一份標準，規定了壓縮空氣、氮氣和惰性氣體的品質指標、檢測方法和限制值等。

　　以上標準都是半導體空壓系統必須遵守的基本要求，可以幫助確保半導體生產過程中的設備安全、性能穩定和氣體品質可靠。