2025-07-30閱讀量:
半導體制造工藝對壓縮空氣的潔凈度要求極為嚴苛,其核心在于控制氣體中的顆粒物、油分及水分等污染物含量,以確保精密器件在生產過程中不受污染。格蘭克林水潤滑單螺桿空氣壓縮機憑借技術創新,可有效滿足這一領域的潔凈度需求,具體特性如下:
1. 半導體制造對壓縮空氣的潔凈度核心要求
半導體生產涉及光刻、蝕刻、薄膜沉積等高精度環節,壓縮空氣需達到以下標準:
2. 格蘭克林空壓機的潔凈度保障技術
格蘭克林水潤滑單螺桿空氣壓縮機采用單螺桿與星輪片組合的壓縮結構,結合水介質密封技術,從設計源頭上避免了油類物質的參與,同時通過以下方式提升潔凈度:
3. 格蘭克林技術的實際應用優勢
在半導體制造場景中,格蘭克林空壓機通過上述技術特性,可實現以下價值:
綜上,格蘭克林水潤滑單螺桿空氣壓縮機通過無油壓縮、水介質密封及高效過濾等技術,為半導體制造提供了高潔凈度的壓縮空氣解決方案,助力行業實現精密生產與質量控制目標。具體配置需結合實際工況與需求進行專業評估。
螺桿式空氣壓縮機組可通過技術配置實現變頻運行,格蘭克林水潤滑單螺桿空氣壓縮機在此領域具備成熟應用能力。其單螺桿與星輪片組合的壓縮結構,結合水介質密封技術,可與變頻驅動
2018 格蘭克林集團 版權所有 滬ICP備18000439號-2